臺式真空等離子清洗機主要由真空室、高頻電源、等離子體發生器、氣體控制系統、溫度控制系統、觀察窗口等組成。采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。清洗機外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學鍵發生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。
臺式真空等離子清洗機的優勢介紹：
1.在經過等離子清洗以后，被清洗物體已經很干燥，不必再經干燥處理即可送往下道工序。
2.不使用三氯乙甲等有害溶劑，清洗后也不會產生有害污染物，屬于有利于環保的綠色清洗方法。
3.用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同，它的方向性不強，因此它可以深入物體的微細孔眼和凹陷的內部并完成清洗任務，所以不用過多考慮被清洗物體形狀的影響，而且對這些難清洗部位的清洗效果與用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。
4.整個清洗工藝流程在幾分鐘即可完成，因此具有效率高的特點。
5.等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種真空度在工廠實際生產中很容易實現。這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格昂貴的有機溶劑，因此它的運行成本要低于傳統的清洗工藝。
6.由于不需要對清洗液進行運輸、貯存、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生。
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