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隨著納米技術、微電子學以及材料科學等領域的發展，對于表面處理技術的要求日益提高。等離子清洗作為一種高效且環保的技術，在這些領域中發揮著重要作用。本文將從清潔效率...
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小型等離子清洗機的用途：小型等離子清洗機是一種利用等離子體對材料表面進行處理的設備。它主要應用于電子制造、生物醫學工程、光學工業等領域，具體用途包括但不限于：表面清潔：去除材料表面的有機污染物、氧化物或微小顆粒，以準備進一步的加工步驟。提高粘附性：通過改變材料表面的化學特性來增強涂層、油漆、膠水等物質與基材之間的結合力。表面活化：改善塑料、玻璃、金屬等材料表面的濕潤性和親水性，使得后續工藝如印刷、涂裝更為有效。刻蝕：用于精細圖案的刻蝕，在半導體制造和微機電系統(MEMS)中尤...
[查看詳情]應用案例
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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